반도체 라인 MES 시스템 구축

프로젝트 개요

• 대상 제품: 반도체 부품. (웨이퍼)
• 예산: 150백만원 (협의 가능)
• 희망 착수 시기: 2026-08-31 (가능한 한 빨리)
• 예상 소요 기간: 120일

상세 내용

1. 제품 사양.
  ◆ 제품 : 반도체 부품. (웨이퍼)

2. 자동화 요청 공정 : 반도체 라인 MES 시스템 구축.
  1) 구축 개요.
     - 반도체 라인 실시간 데이터 수집 / 저장 / 이력 관리 / 품질 관리 모니터링 시스템 구축.

  2) 대상 장비 : MOCVD.

  3) 주요 요구사항.
     ① 품질 관리와 이상 동작 추적.
     ② 수집 대상 Tag 목록 : 일반적인 신호 개폐 및 밸브 동작 / MFC / Pressure / 온도 등.
     ③ 품질 검사 항목 : PL / Crack Viewer / XRD / AFM 등.
     ④ FDC / SPC등의 프로그램으로 관리.
     ⑤ 하드웨어 구성. (필요 시 : 확인 필요)

  4) 요청 사항.
     - 구축 개략 견적.
     - 시스템 구성도 및 아키텍처 제안.
     - 유사 프로젝트 수행 사례.
     - 구축 기간 및 단계별 추진 방안.

3. 설치 장소 : 경상북도.

4. 도입 희망일 : 2026.08.31. (ASAP)

※ 정부 지원 사업 희망 : 컨소시엄 공모 가능 공급사 지원 희망.

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